저스템

제품소개

custom service

회사소개서

제품현황

HOME 제품소개 제품현황

“
Load Port Module Refurbish
“

Hardware Configuration

1. Stage Exchange on Load-Port Module
2. N2 Purge Control Box Install
3. Utility (N2, CDA, Electric Power) Connection
4. N2 Purge Function Test

JUSTEM LPM 강점

반도체용 全體 FOUP Maker & Model 개조 대응 기술 보유
N2 Leak Free 독보적 기술 확보
- - Unique Nozzle Structure (당사 특허)
- - Real-Time Leak Detecting Technology
LPM 7개社 30種 Model 양산 검증 완료
기존 제공 Model 완벽 기술지원 가능
- - LPM 개조 & 기술지원 전문인력 보유
- - Signal 점검 전용 Tool 개발 / 활용
- - 부품 내재화

N2 Purge Load-Port 개조 작업 및 범위

LPM 개조 작업 및 범위

1. 개조 전 사전 Check & 측정
2. Stage 교체
3. 재활용 부품 이식
- - Placement Pin & Sensor
- - Presence Sensor
- - Cylinder Or Motor
- - Kinematic Pin
- - RF/ID Antenna
- - FOUP Clamp
4. N2 & Air Line Tubing

5. Signal & Power Line 연결
6. I-Marking & 8계통 점검
7. Nozzle 구동 & 간섭 Check
8. LPM Function Check
9. N2 Flow Check

N2 Purge Load-Port Control Box Specification

Control Box Specification

Control Box Utility Specification
Control Box 구분		GN2		CDA		Exhaust Pressure (Kpa)		Main Power	정격전류 (Breaker)	FDC	Remark
Control Box 구분		Size (Inch)	Pressure (Mpa)	Size (Inch)	Pressure (Mpa)	Size (mm)	Pressure (Mpa)	Main Power	정격전류 (Breaker)	FDC	Remark
Valve	3-Port	1/2	0.6	3/8	0.5	10	0.5	Free (220v or 110v)	10A	N/A
Valve	4-Port	3/4				10	0.5	Free (220v or 110v)	10A	N/A
MFC	3-Port	3/4				0.5	10	Free (220v or 110v)	10A	Ethemet
MFC	4-Port	3/4				0.5	10	Free (220v or 110v)	10A	Ethemet

N2 Purge Load-Port Stage Refurbish Module

TDK_E4A, G1

TDK_H1

TDK_F1

TDK_EG DUAL

TDK_J1(N2 Type)

TDK_J1(Normal Type)

HIRATA_T1, T3

HIRATA_T7

SHINKO_S6

SHINKO_S7

SHINKO_S7-A

SINFONIA (301, 3022)

BROOKS_EXPRESS

BROOKS_FIXLOAD

BROOKS_VISION

NANO

FAQ 찾아오시는길

사업자등록번호 : 495-88-00337 개인정보 책임관리자 : 김기창 gckim@justem.co.kr

대표이사 : 임영진 | Copyrightⓒ2017 (주)저스템 LTD ALL Right Reserved.